水质案例|盛奥华SH-6500在半导体行业的应用

电子半导体行业的废水主要来源于磨板、蚀刻、电镀、显影等工序产生的清洗废水、车间的地面清洗水、以及超纯水冲洗制备晶圆后的废水等，主要包括含铜、含镍等重金属废水，含氟废水、含氰废水等。这几类废水的成分复杂、污染物含量高，对水体环境均具有严重的危害和影响。在我国国家标准《GB39731-2020 电子工业水污染物排放标准》中，对废水中污染物排放的含量都有严格的限值。加强电子半导体行业生产废水的处理和检测一直是急需解决的环保难题。

比亚迪旗下半导体子公司始终践行绿色生产理念。在其晶圆制造、封装测试等环节中，产生的工业污水含有COD、氨氮、总磷、总氮及重金属铜等复杂污染物。为精准监测水质、优化处理工艺并确保排放合规，企业引进了盛奥华水质检测仪器，以科技赋能环保管理升级。